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設備特點：

1、顯影及蝕刻可獨立調(diào)壓的水平搖擺噴盤設計,噴灑更均勻,生產(chǎn)更流暢；

2、顯影配置機械式(或真空式)破泡裝置,避免消泡劑污染,有效減少藥液浪費；

3、顯影設計有全自動測顯影點程式,方便生產(chǎn)操作使用；

4、精密補償蝕刻（二流體）設計，有效控制水池效應，提高做板均勻性，蝕刻線寬線距：1.5mil／1.5mil，蝕刻均勻性cov≥96％，蝕刻因子≥5；

5、退膜交叉斜噴式噴淋可更有效地沖刷退凈膜片；

6、圓錐滾筒式膜渣分離系統(tǒng),可高效干凈的收集處理膜渣。